首先,可以确定炉负荷对晶体拉动的影响非常大。以下是我个人通过实践总结的一些要点。炉内负荷对单晶质量的影响,炉内工艺卫生,众所周知,单晶生长的工艺卫生要求很高,因此炉内卫生连接会影响单晶的质量,例如,石墨片未清理, 氧化物不清洗会直接影响单晶的氧含量。
炉膛负荷对晶体拉拔的影响,炉膛负荷的合理性,即是否按要求安装炉膛,上下保温筒是否靠近,加热器、三瓣锅及保温盖是否轴对称。温度测量孔,通风孔是否与 / 位于中间对齐。炉底盖密封是否密封。热场的配置是否合理。
以上所有细节都直接影响晶体拉拔温度的稳定性、炉辅助设备的正常运行(例如温度测量孔不准确)以及直接直接影响晶体拉拔环境的单晶炉的密封性能。影响是决定是否结晶的关键。
对于经验丰富的操作者来说,完全可以通过前一个或多个炉子的晶体拉动状况和炉子的状况(通常称为异常晶体拉动)对热场做出基本判断,这样通过安装炉子,就可以避免引起结晶的因素的影响,并改善 食品生产线 形成效率。
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